空氣過(guò)濾器的選用：凈化空調系統根據大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及要求配置各類(lèi)空氣過(guò)濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學(xué)過(guò)濾器等。
具體凈化空調系統中空氣過(guò)濾器的配置和選用應根據潔凈室的空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求（當工藝無(wú)特殊要求時(shí)，一般都是按空氣潔凈度等級配置）合理配置和選用，對于6級（1 000級）和比6級潔凈度差的潔凈室的凈化空調系統通常采用三級空氣過(guò)濾，即粗效、中效和高效過(guò)濾器；粗效、中效（或中高效）過(guò)濾器，通常設在空氣處理裝置(AHU)內，且將中效或中高效設在正壓段；高效或亞高效過(guò)濾器一般設在潔凈室內凈化空調系統的末端，也有將高效過(guò)濾器集中設在集中的空氣處理裝置(AHU)內，但此時(shí)應對送風(fēng)管道提出嚴格的清潔要求，以避免凈化后的空氣被污染。
對于5級（100級）和更嚴格的潔凈室的凈化空調系統中空氣過(guò)濾器的配置，應根據潔凈室的總體設計方案及采用的凈化空調系統的要求配置各類(lèi)過(guò)濾器，比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(O.ltim)和更嚴要求的潔凈室采用新風(fēng)集中處理，為了嚴格去除大氣中的微粒和各種污染物，通常在新風(fēng)處理裝置中設置粗效、中效（中高效）、亞高效甚至高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器或水噴淋裝置等；在潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統還設有高效、超高效和化學(xué)過(guò)濾器等；有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過(guò)程的某些生產(chǎn)區、生產(chǎn)工序或工藝設備設微環(huán)境裝置，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。
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